유동층 CVD로

Xiamen TOB New Energy Technology Co., Ltd.는 중국에서 유동층 cvd로의 가장 신뢰할 수 있는 제조업체 및 공급업체 중 하나입니다. 우리 공장에서 경쟁력 있는 가격으로 고품질 유동층 cvd 퍼니스를 구입하는 것을 환영합니다. 협력에 관한 문의사항이 있으시면 언제든지 이메일을 보내주세요.

 

유동층 CVD로

 

 

제품개요

TOB-1200-LTS-FB는 분말 표면 증착 실험을 위해 제작된 유동층 CVD로입니다. 고순도 석영관은 하부에 다공성 석영판을 가지고 있습니다. 분말은 그 판 위에 놓이고, 가스는 튜브 바닥에서 공급되며, 판을 통한 상향 흐름은 입자를 들어올려 증착이 일어나는 동안 가열된 구역 내부에 떠 있게 합니다.

퍼니스는 1시간 이내에 1200도에 도달하고 200mm 가열 영역과 100mm 항온 영역을 통해 지속적으로 1150도를 유지합니다. 튜브는 Φ25mm 또는 Φ50mm, 길이 600mm로 제공되며 다공성 플레이트는 분말에 필요한 기공 크기로 만들어집니다. 공기 냉각 기능이 있는 이중층 쉘, 튜브 교체를 위한 분할 용광로 본체, 석영 튜브 가드 및 기계식 압력 릴리프 밸브가 모두 표준입니다.

 

TOB-1200-LTS-FB의 주요 엔지니어링 특성

분말 증착을 위해 특별히 제작되었습니다.다공성 석영 판과 바닥 가스 유입구는 입자가 단지 가열된 영역에 위치하는 것이 아니라 가열된 영역에 부유하도록 존재합니다.

공기 냉각 기능을 갖춘 이중층 쉘:외부 스킨은 동일한 챔버 온도의 단일벽 퍼니스보다 차갑게 유지됩니다.

분할형 개방형 퍼니스 본체:본체를 열면 용광로를 분해하지 않고도 석영관을 교체할 수 있습니다.

석영 튜브 가드:진공이나 열충격으로 인해 석영이 파손될 경우 튜브 주변의 차폐물이 부상을 방지합니다.

기계적 안전 압력 릴리프 밸브:다공성 석영 필터 플레이트가 막힐 경우 과압으로부터 보호합니다.

고온 코팅된 알루미나 챔버:미국산 고온 알루미나 코팅을 챔버 표면에 적용한 고순도 알루미나 섬유 단열재로 가열 효율을 높이고 챔버 수명을 연장합니다.

HRE 합금 발열체:1시간 이내에 1200도 도달 가능, 연속 1150도, K형 열전대 정확도 ±1도.

스테인레스 스틸 씰링 어셈블리:이중 실리콘 O-링 플랜지 어셈블리가 표준으로 제공되며 옵션 펌프 세트는 5 × 10⁻² Pa(기계식) 또는 5 × 10⁻³ Pa(터보)로 설정됩니다.

 

완전한 사양

1. 퍼니스 본체 및 열 사양

매개변수	사양
장비 전력	110V 1.2KW
챔버 재료	고순도 알루미나 섬유 소재
발열체	HRE 고온 합금 와이어
최대 온도	1200도(1시간 이내)
지속적인 온도	1150도(연속)
온도 정확도	±1도
열전대	K형 열전대
최대 가열 속도	20도/분 이하
챔버 크기	80mm×200mm
가열 구역 길이	200mm
항온대 길이	100mm

 

2. 석영관과 다공성 판

매개변수	사양
튜브 크기	Φ25mm 또는 50mm × 600mm
튜브 재질	고순도 특수 석영관
다공성 석영판 기공 크기	4-550 μm, 다양한 사양 이용 가능 및 맞춤화 가능

 

3. 진공 및 밀봉 시스템

목	사양
씰링 시스템	표준: 이중 실리콘 O-링 스테인리스 스틸 씰링 플랜지 어셈블리 1세트, 기계적 안전 압력 릴리프 밸브 및 석영 튜브 가드 포함
진공, 기계식 펌프 세트	5 × 10⁻¹ Pa(선택 사항)
진공, 터보 펌프 세트	5 × 10⁻³ Pa(선택 사항)

 

4. 크기, 무게 및 보증

목	사양
외부 치수	510mm × 430mm × 1000mm
순중량	약 35KG
보증	1년 보증, 평생 기술 지원

 

5. 소모품 및 보증 제외

목	세부 사항
소모품은 포함되어 있지 않습니다.	가열 요소, 열전대, 샘플 도가니 및 유사한 소모성 부품은 포함되어 있지 않습니다.
부식성 및 산성 가스	부식성 가스, 산성 가스 사용으로 인한 손상은 보증 대상에서 제외됩니다.

 

제어 시스템

컨트롤러는 7인치 트루 컬러 터치스크린을 갖춘 내장 운영 체제에서 실행됩니다. 반복 가능한 분말 CVD 작업에는 네 가지 기능이 중요합니다.

기능	세부 사항
저장된 온도 곡선	15개의 온도 곡선을 미리 저장할 수 있으므로 처음부터 다른 실험 프로세스를 다시 설정할 필요가 없습니다.
임베디드 운영체제	중국어/영어 전환 가능한 그래픽 인터페이스, 7인치 트루 컬러 터치스크린 입력, 지능형 인간-기계 대화 모드
비선형 온도 보정	비선형 샘플 온도 보정으로 표시된 값을 측정된 샘플 온도와 일치시킵니다.
예정된 시작	옵션 기능으로 사용 가능하므로 선택한 시간에 실행이 시작되도록 설정할 수 있습니다.
시스템 보호	과열 경보, 열전대 파손 표시 및 누출 방지

아래 스크린샷은 위의 행 순서(저장된 곡선 라이브러리, 곡선 편집기, 전환 가능한 인터페이스, 비선형 수정, 예약된 시작 및 두 가지 보호 경보)를 따릅니다.

 

 

 

 

 

 

인기 탭: 유동층 cvd로, 공급 업체, 제조업체, 공장, 가격