PECVD로

1. 유형: 1200도 슬라이더형 이중 구역 PECVD 시스템
2.Phase 번호:단상
3.열전대 유형:K 유형
4.모델:TOB-DSP-1200도 -PECVD
5.MOQ:1세트

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제품 소개

1200도 슬라이더형 듀얼 존 PECVD 시스템

사양

모델	TOB-DSP-1200 정도 -PECVD-I	TOB-DSP-1200 정도 -PECVD-II		TOB-DSP-1200 정도 -PECVD-III	TOB-DSP-1200 정도 -PECVD-IV
힘	3KW	3KW		4KW	4KW
로 튜브 크기(mm)	직경 60(OD) X1800mm	직경 80(OD) X1800mm		직경 100(OD) X1800mm	직경 120(OD) X1800mm
치수	1800X410X610	1800X410X610		1800X460X660	1800X460X660
전원 전압	220V
단계 번호	단상
제어 모드	Yudian 온도 조절 30개 섹션은 PID 온도 조절만 사용할 수 있습니다. FP93 온도 조절 장치(일본산) (수입 악기 교체 시 추가 비용 발생) 1,40 섹션 프로그램 온도 제어는 4,2,1 그룹 프로그램으로 나눌 수 있습니다. 프로그램이 4개 그룹으로 나누어지면 각 프로그램 세그먼트는 10, 2,6 그룹 PID 제어, 저, 중, 고온은 각각 PID 세트를 사용할 수 있으므로 각 세그먼트는 온도를 매우 정확하게 제어할 수 있습니다.
온도 조절 모드	지능형 PID
번아웃 보호 및 디스플레이	예
과열 보호	예
과전류 보호	예
제어 정확도	+/- 1도
방아쇠	위상 변이 트리거
증권 시세 표시기	106 / 16E 독일 사이먼 강
1.2 온도대 최대 온도	1200도
1.2 온도대 정격온도	1150도
가열 속도	30도/분 이하 (요청시 수정 가능)
권장 가열 속도	15도/분 이하
열전대 유형	K형
1.2 온도대 가열 길이	205 밀리미터
주변 표면 온도	45도 이하
플라즈마 RF 전력	전원 출력 범위		0-500W
	최대 반사 전력		10W
	신호 주파수		13.56MHZ ± 0.005%
	소음		<30 dB
	공기 냉각		냉각 방식
	입력 전원		208-240V 50 / 60HZ
GX 공급 시스템 주요 매개변수	표준 범위		양성자 흐름 컨트롤러 5,10,20,30,50,100,200,300,500SCCM, 1,2,3,5,10SLM (어떤 규모든 선택할 수 있습니다)
	정확성		± 1.5%
	압력 강하		<0.01MPa
	반복성		± 0.2% F.S
	맥스 작동 압력		3MP
VS-0.1 배기 시스템	전원 공급 장치		220V / 380V 380W
	펌핑 속도		2L / S
	저항 진공 게이지		ZDR-I
	진공 측정 범위		0.1-10 5 파
	진공펌프		VRD-8
	골판지 파이프		KF25X1000 밀리미터
	진공 시스템		10 -1빠